أدوات:أقلام الديناس (30-72 ديناس/سم) أو مقياس زاوية الاتصال
معايير التجاوز:الماء يشكل فيلم موحد (≥40 دينس/سم)
الطريقة 4: تحليل المخلفات الكيميائية
التقنية
حد الكشف
الأفضل ل
طيفية FTIR
0.1 ميكروغرام/سم2
بقايا عضوية
HPLC
1 ppm
الملوثات الأيونية
ICP-MS
0.01 نقطة
المعادن الثقيلة
الطريقة 5: عدد الجسيمات (التنظيف الحرج)
المعدات:عداد الجسيمات بالليزر أو SEM
المعايير:
ISO 4406 (أنظمة هيدروليكية)
IEST-STD-CC1246 (الفضاء الجوي)
3المعايير الخاصة بالصناعة
الصناعة
المعيار
حد القبول
طبية
ISO 19227
≤0.1 ملغ/سم2 بقايا
نصف موصل
الـ SEMI C35
≤5 جزيئات (> 0.5μm) /cm2
السيارات
(في دي إيه 19)1
بدون ألياف > 200 ميكرومتر
4بروتوكول التحقق من صحة العملية
تحديد المعايير الحرجة
التردد (kHz) ، درجة الحرارة (°C) ، الوقت (دقيقة)
تركيز عامل التنظيف
تنفيذ DOE (تصميم التجارب)
اختبار 3-5 مجموعات من المعلمات
تحديد القدر المسموح به/القدر المسموح به
المهارات التشغيلية:التحقق من أداء المعدات
PQ (مؤهل الأداء):تأكيد فعالية التنظيف
نتائج الوثيقة
تضم الصور قبل/بعد، بيانات الاختبار، والانحرافات
5المعوقات الشائعة والحلول
القضية
السبب الجذري
الإجراءات التصحيحية
نتائج غير متسقة
تردد غير مستقر
تميز المولّد سنوياً
مادة التنظيف المتبقية
غسل سيء
إضافة مراقبة الموصلات
أضرار جزئية
تآكل التجويف
خفض كثافة الطاقة
6صيانة أنظمة التحقق من الصحة
يومياً:تحقق من مخرج المحول باستخدام اختبار ورق الألومنيوم
أسبوعياً:أجهزة استشعار للتعديل (pH، الموصلات)
شهرياً:استبدال محلولات التنظيف القديمة
الاستنتاج التحقق من صحة التنظيف بالموجات فوق الصوتيةالاختبار المنهجيوالتعديلات القائمة على البياناتمن خلال تطبيق تقنيات التحقق هذه، يضمن المصنعونالنظافة المتكررةمع الامتثال لمعايير الصناعة الصارمة.